先端電子機器
TFシリーズ仕様
TFシリーズ仕様
| コントローラー仕様 | コンピュータソフトウェア | → | → | → |
| IBM PC -コンパーチブルコンピュータ | → | → | → | |
| VGA グラフィックインターフェイス | → | → | → | |
| 128MB RAM | → | → | → | |
| LS 120 MB ドライブ/ 3.5″ フロッピー 1.44MB | → | → | → |
| TFアナライザー1000 | TFアナライザー2000 | |||
| ブローブヘッドハードウェア | FE モジュール STD | FE モジュール Enhanced | FE－HV モジュール | |
| ドライブユニット | ||||
| 電圧範囲 | ±12V | -25V～+25V | -25V～+25V、±5V | ±500V/ ±4kV/ ±10kV/ ±20kV/ ±30kV |
| 出力インピーダンス | 50Ω | 10Ω | 10Ω、70Ω | |
| スルーレート | 100V/us | 100V/us | 100V/us、4.2V/ns | 50V/ 150V/ 30V/ μs |
| 周波数 | 100Hz | <1MHz(容量に依存) | <1MHz(容量に依存)100kHz | |
| 負荷 | 10nF | 1uF(周波数依存) | ||
| 最大出力電流 | ±1A | → | ||
| 出力電流の安定性 | ±50mA | ±20mA (4kV) | ||
| 電流増幅器 | ||||
| 電流範囲 | 1nA～1A | 10pA～1A | → | 10pA～1A |
| tr/ｔｆ | ||||
| 10 pA | 10ms | 10ms | 10ms | |
| 1nA | 300us | 900us | 900us | 900μs |
| 1uA | 50us | 300ns | ||
| 1mA | 30us | 5us | 65ns | 5μs |
| 1A | 10us | 3us | 25ns | 3μs |
| ファティーグ仕様 | ||||
| 最大周波数 | 100kHz | 10MHz(6V、100pF) | ||
| ソフトウェア仕様 | ||||
| オペレーティングシステム | Windows NT | Windows NT | Windows NT | Windows NT |
| グラフィックユーザーインターフェース | グラフィックユーザーインターフェース | グラフィックユーザーインターフェース | グラフィックユーザーインターフェース | |
| → | データはASCIIにて出力可能 | → | → | |
| 測定項目 | ||||
| ヒステリシス測定 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| ファティーグ測定 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| リテンション測定 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| スタィックヒステリシス測定 | ○ | ○ | ○ | |
| インプリント測定 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| リーク電流測定 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| PUND測定 | ○ | ○ | ○ | |
| CV測定 | ○ | ○ | ○ | |
| Piezo測定 | オプション | オプション | オプション | |
| Pyro測定 | オプション | オプション | オプション | |
| 装置仕様 | ||||
| 大きさ | ||||
| 高さ | 200mm | 200ｍｍ | → | → |
| 幅 | 450mm | 470ｍｍ | → | → |
| 奥行き | 400mm | 500ｍｍ | → | → |
| 重さ（HVアンプを除く） | 10kg | 20kg | → | → |
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オプションヘッド
|
|||||
| ブローブヘッドハードウェア | PS モジュール | RX モジュール | DRAM モジュール | ||
| ドライブユニット | 電圧ステップ発生器 | 電圧パルス発生器 | |||
| 電圧範囲 | 10V | 電圧範囲 | ±10V | 電圧範囲 | ±10V |
| 出力インピーダンス | 70Ω | スルーレート | 100ns | 最小パルス幅 | 50ns |
| スルーレート | 1.2ns | 出力抵抗 | <5Ω | 最大パルス幅 | 640us |
| 周波数 | 100kHz | ||||
| 負荷 | 100Ω(シャント抵抗) | 電流増幅器 | スイッチング特性 | ||
| 電流レンジ | 100mA～10pA | 遅延時間 | <2ns | ||
| 追加オシロスコープ | バンド幅 | (I>50uA)300kHz | 入力抵抗 | <50Ω | |
| アナログバンド幅 | 1GHz | (I>1mA)500kHz | 入力容量 | >1013Ω | |
| 最大サンプリングレート | 5GS/s | ||||
| IEEEインターフェース | 測定項目 | relaxationと漏れ電流測定 | 測定項目 | 自己チャージ測定 | |
| サンプル仕様 | |||||
| 入力容量 | 0.8pF | ||||
| 入力抵抗 | 1MΩ | ||||
| 測定項目 | パルス分極測定 | ||||