先端電子機器
変位測定
変位測定
圧電材料の特性評価に関しては、変位を測定するためにレーザー干渉計システムを使用します。
変位を正確に決定する
これらのシステムは使いやすく、非常に高い分解能を備えています。
aixACCT Systemsの製品は、不正確な調整やシステム固有の特性に起因する測定誤差のリスクを実質的に排除します。
当社の PES システムでは通常、それぞれの用途に合わせて正確に調整された SIOS レーザー干渉計を使用します。
高解像度測定
バルク材料の測定において、シングルビーム干渉計は、対応するサンプルホルダーと組み合わせることで1nm未満の分解能を実現します。
当社の多層膜用PES製品にもこのシステムを採用しており、高精度な結果を実現しています。
より高い精度を実現する統合顕微鏡
顕微鏡を内蔵した特殊レーザーは、メンブレンやカンチレバーなどのMEMS構造の調査に使用されます。
数µmのスポットサイズにより、マイクロメカニカル構造のたわみを高精度に測定できます。
もっと詳しく知りたいですか？お客様のニーズに最適なレーザー干渉計をご提案いたしますので、お気軽にお問い合わせください。ご連絡をお待ちしております。