先端電子機器

aixDBLI Industrial Line

aixDBLI Industrial Line

当社の DBLI システムの産業用ラインは、圧電 MEMS 製品の製造業者に初めて生産プロセスで品質を監視する機能を提供します。

完璧なコンポーネントを実現する検証済みの薄膜品質

当社のインダストリアルラインのDBLIシステムを使用すれば、薄膜の圧電挙動がお客様の要件を満たしているかを試験し、ウェーハ全体にわたって一貫した性能を確保できます。
これらはすべて、薄膜が最終部品へと加工される前の製造プロセスの初期段階で実施できます。
全自動または半自動の品質管理により、生産において卓越した信頼性と再現性を実現します。
優れた生産効率と最大限の生産性、そして完璧な部品の実現を実感いただけます。

いつでも簡単に操作できます

aixDBLI Industrial Lineのシステムには、Formfactor（旧Süss Microtech）製の産業用プローブが搭載されています。
オプションでウェーハハンドラーを装備することで、ウェーハを全自動で測定することも可能です。
制御ソフトウェアDBLI Commanderにより、測定システムは極めて使いやすくなっています。
さらに、自動アライメントとパターン認識によるハンドリングにより、ユーザー間で信頼性の高い測定データが確保されます。
オペレーターレベルに応じて、すべてのパラメータにアクセスできます。
ウェーハマップエディターとレシピエディターに加え、様々な測定モードから選択できます。
SecsGEMインターフェースにより、システムは上位レベルの生産管理ソフトウェアと通信できます。

安定したプロセス、保証

すべてのインダストリアル ライン システムは、プロセスの安定性を確保するために、製造現場と顧客施設の両方で包括的な承認プロセスの対象となります。

これがあなたにとって何を意味するか

あなたにとってのメリット

• さらなる加工前の分離されたフィルムの品質管理
• 薄膜上の材料欠陥と部品故障の区別
• ウェーハマッピングにより均一性テストが可能になり、プロセス最適化のためのフィードバックが得られます。
• プロセスに敏感な最も重要なパラメータ d33,f と e31,f を監視するための 1 pm を超える独自の分解能
• DBLIとSBLI技術の組み合わせにより、薄膜とコンポーネントのテストを1つのシステムで実現
• 破壊電圧、漏れ電流、イプシロン、損失係数などの他の特性値の監視

弊社のユースケースをご覧いただき、aixDBLIインダストリアルラインシステムがどのように生産性向上に貢献できるかご確認ください。