先端電子機器

MC600i

MC600i

SEM 検査やその他の分析に使用できる結晶材料の断面サンプル準備システムとして受賞歴のあるNanoCleavingシリーズの第5世代バージョンです。
フルプロセスと高速プロセスという2つの主なプロセスでナノクリービング技術とマイクロ クリービング技術を活用します。
SELAのナノクリービングおよびマイクロクリービング技術は、正確で高速、かつアーティファクトフリーのサンプル作製において、紛れもないリーダーとしてその実力を発揮しています。
ウェーハセグメントおよびダイの全自動かつ信頼性の高い高速断面作製を実現します。
専用ソフトウェアにより、ターゲットへの自動マッピングとナビゲーション、そして即時検査のための自動オフロードが可能になります。
高い精度と一貫した優れた断面品質により、故障解析、特性評価、プロセスモニタリングにおける診断サイクルを大幅に短縮します。
これらの機能と高いスループットを組み合わせることで、サンプル準備が SEM 分析のボトルネックになることがなくなります。

【概要】

• 全工程の精度は10分で100nmまで
• 高速切断の精度は3分で3ミクロンまで
• 2x1mmまでの寸法の単一ダイ切断
• ウェーハとダイのエッジをエッジから0.5mmまで劈開
• 断面品質を向上させるための制御された液体窒素噴霧
• 使いやすさ – 新しいオペレーター向けの数時間のトレーニング
• 自動処理 – 経験は不要

【特徴】

• ターンアラウンドタイムが大幅に短縮
• 収量分析の改善
• キャラクター描写を向上
• SEMイメージングを改善および強化します
• 高い生産性
• 所有コストが低い