先端電子機器

Elite Etch 7000


Elite Etch 7000

Elite Etch 7000は、当社の第一世代の自動混合酸デカプセル装置です。
高度な機能を備えたこのデカプセル装置は、硝酸、硫酸、または混合酸を微量かつ正確にサンプルパッケージに供給することで、様々なデリケートなパッケージを迅速かつ容易に開封します。
各マイクロアリコートの吐出は、エッチングされたキャビティ内に強力な乱流を発生させるのに十分な圧力で循環的に行われ、封止材の除去速度を大幅に加速します。
正確な酸温度と高い吐出速度を組み合わせることで、ボンドワイヤの損傷リスクなしに剥離が可能になります。

製品情報

第一世代の自動混合酸カプセル除去装置

RKDエンジニアリングのElite Etchは、最新のイノベーションを結集しています。
エッチングヘッドは、極めて高い耐酸性・耐熱性を持つ最高級シリコンカーバイドから機械加工されています。
アクティブ窒素ガスモニタリングおよびパージシステムと組み合わせたこのモノリシック設計は、各デカプセル化プロセス後にエッチングヘッドに残留する酸の発煙を低減します。
シリコンカーバイドエッチングヘッドは、高い熱伝導率により、短時間での加熱を実現します。

装置のホールドダウンアセンブリ(ラムノーズ)は空気圧駆動式で、大きな移動距離に対応するように設計されています。
ラムノーズは安全カバーが完全に閉じられた場合にのみ伸長し、完全な垂直方向の移動を保証します。ラムノーズはサンプルをエッチングヘッドに固定し、パッケージとその固定具の動きを防ぎます。

安全カバーは手動で操作することで、安全な操作を制御できます。
これにより、オペレーターはカバーが正しく密閉されていることを保証できます。
酸流路とシステムアセンブリは、高圧シールの不具合を防ぐよう設計された放射状対称の圧縮ジョイントです。

Elite Etchは、必要な安全機能をすべて備えながら、ドラフト内に快適に収まるように設計されています。
熱交換システムを使用することで、廃酸は90℃以下に冷却され、廃液ボトルを1本で使用できます。
Elite Etchは、システムに付属する標準的な500mlボトルを3本使用します。

RKDエンジニアリングは、ボトルコンテナとデカプセル化装置間のすべての流体接続部に二重封じ込めを採用しています。
ボトルボックスアセンブリとエッチングユニットには、ボトルまたは内部継手から酸が漏れた場合にオペレーターに警告を発する流体センサーが搭載されています。
ボトルボックスには、ボトルの交換を容易にするユニバーサルピボットインターコネクトが組み込まれています。

仕様

エッチャーユニット 高さ: 300 mm (13 インチ)
幅: 190 mm (7.5 インチ)
奥行き: 305 mm (12 インチ)
ボトル組み立て 高さ: 254 mm (10インチ)
幅: 280 mm (11インチ)
奥行き: 127 mm (5インチ)
重さ 約16 kg(35ポンド)
電源 90~250 VAC、50~60 Hz(4アンペア)
酸温度範囲 20~250℃
酸温度設定点 設定値の1°C±1%
エッチングキャビティ(最大) 22 mm x 22 mm(対角30 mm)
酸の選択 発煙硝酸、発煙硝酸と硫酸の混合、または発煙/濃硫酸
酸の混合比 (硝酸と硫酸の比率)9:1、5:1、4:1、3:1、2:1、1:1
エッチング後のリンスオプション 硫酸、発煙硝酸、混酸、またはすすぎなし
エッチング時間 1秒から1,800秒まで1秒単位で(1秒から30分まで)エッチング時間を動的(リアルタイム)に調整
エッチング温度範囲 20~90℃(硝酸)、20~250℃(硫酸)、20~100℃(混酸)
エッチング液量選択 1~6 ml/分 – すべての酸および酸混合物
オペレータプログラムストレージ 100個のプログラムを不揮発性メモリに保存