先端電子機器

Elite Etch Cu 7100

Elite Etch Cu 7100

RKDエンジニアリングのElite Etch Cuは、高度な機能を統合することで高い生産性を実現する自動混合酸デカプセル化装置です。
このデカプセル化装置は、硝酸、硫酸、または混合酸を微量に正確に滴下することで、最も繊細なパッケージでも迅速に開封できます。

このモデルには、銅を含む集積回路の金属損傷を防ぐ高度な加熱および冷却システムが組み込まれています。

製品情報

銅用に作られた最初の酸デカプセル化装置

Elite Etch Cu 7100は、Elite Etch 7000の設計を改良し、急速加熱・冷却システムを搭載しました。
エッチングヘッドと酸ラインに直接接触する熱交換器を使用することで、硫酸のデカプセル化速度が加速され、全体的な使用量を削減します。
正確な酸温度と高い供給速度を組み合わせることで、金属配線に損傷を与えることなく銅配線デバイスのデカプセル化を実現します。
特別に設計された酸熱交換器は、最大8ml/分の流量で酸温度を10℃～250℃の間で正確に制御できます。
高い酸パルスレートにより、低温時でも適切なエッチング時間を実現します。

Elite Etch Cuは、最高級のシリコンカーバイドから機械加工された酸制御エッチングヘッドを搭載し、比類のない耐酸性を実現しています。
このエッチングヘッドは、プロセス終了時にエッチングヘッドに残留する酸の発煙を抑えるように設計されており、オペレーターの安全性と酸の廃棄の容易さの両方を実現します。

装置固定アセンブリ（ラムノーズ）は、空気圧駆動式のプッシュロッドです。
ラムノーズは通常は引き込まれており、安全カバーが完全に閉じられると伸びます。
ラムノーズはサンプルパッケージと定義ガスケットをエッチングヘッドに固定し、パッケージとその固定具の動きを防ぎます。

RKDエンジニアリングは、ボトルコンテナとデカプセル化装置間のすべての流体接続部に二重封じ込めを採用しています。
ボトルボックスアセンブリとエッチングユニットには、ボトルまたは内部継手から酸が漏れた場合にオペレーターに警告を発する流体センサーが搭載されています。
ボトルボックスにはユニバーサルピボットインターコネクトが組み込まれており、残留酸への曝露を最小限に抑えながらボトルを簡単に交換できます。

仕様