プローバーに追加の計測技術を統合することで、進行中の生産プロセスにおける分析オプションを柔軟に拡張できます。
そのため、当社はAutomation Assistantソフトウェアプラットフォームを導入し、幅広いプローバーに多様な分析ツールを搭載しています。
当社の生産ツール製品群には、ウェーハプローバーをベースとしたシステムが含まれます。
これらのシステムは、例えば製造工程において、特定のポイントにおける電気的、電気機械的、熱的、焦電的特性を測定するために使用できます。
ウェーハプローバーを統合した最初の測定システムは、当社のダブルビームレーザー干渉計(DBLI)です。
このシステムは、d33,f係数を測定します。
プローバーのフィッティングによっては、ウェーハの自動ロードとアライメントも可能です。
当社のシステム( DBLI、PIAS、CIT )はすべて、直感的なソフトウェアで制御できます。
どのプローバーや測定システムをご使用いただいても、基本的な制御構造は常に同じです。
ユーザーごとに異なるアクセス権を設定することで、スタッフは事前に詳細なトレーニングを受けることなく、複雑なシステムを操作できます。
もちろん、SECS/GEM インターフェースなどを介してシステムを上位レベルの制御ユニットに接続することもできます。
プローバーベースシステム向けに特別に開発されたソフトウェアだけでなく、ハードウェアコンポーネントの統合にも注力しています。
世界的にも他に例を見ないダブルビームレーザー技術と高度に特殊化されたカメラユニットの組み込み、あるいは構造物のポイント加熱用レーザーシステムなど、あらゆるニーズに対応可能です。ぜひお気軽にお問い合わせください。