先端電子機器

多層膜用サンプルホルダー

多層膜用サンプルホルダー

調整可能なプリロード力を備えたサンプル ホルダーは、多層構造での急速な大信号励起中に圧電セラミックが損傷するのを防ぎます。

熱から冷へ

アクチュエータのプリロードについては、aixACCT Systems はさまざまなタスクに対応するソリューションを提供しています。
MLA サンプル ホルダーは受動的な力生成を使用し、CMA サンプル ホルダーは aixCMA 基本システムと組み合わせて使用​​すると、能動的な力の制御が可能になります。

当社では、-100 °C ～ 300 °C の周囲温度で測定を実施することにより、多層アクチュエータの包括的な圧電または強誘電体の特性評価を実行できます。

一定のクランプ力：MLAサンプルホルダー

高周波電圧励起用のMLAサンプルホルダーは、受動的な力生成を利用しています。
圧縮バネによって予荷重が生成され、これによりアクチュエータの変位時に一定の予荷重が確保されます。
アクチュエータは、側面に取り付けられたバネ式テストピンを介して接触し、システムの中心に配置されます。
当社のレーザーシステムと組み合わせることで、アクチュエータの長さの変化を記録することができます。タイプによっては、kHz範囲までの周波数が可能です。

MLA サンプル ホルダーはさまざまな温度範囲で利用できるため、測定を自動化して簡単かつ確実に実行できます。

Standard MLA

MLA規格は、最小サイズと交換可能な圧縮スプリングを採用しているため、プリロード力を有するあらゆるシステムの中で最も高い周波数範囲をカバーします。
そのため、ブロッキングフォース曲線の簡単な測定にも使用できます。

特徴

• サンプル上の正確な電圧と電流測定のための4点接触
• 市販のレーザー干渉計による信頼性と精度の高いひずみ測定
• サンプル表面の研磨は不要
• 阻止力を決定するために、圧縮スプリングを交換することができる。
• 励起周波数 >1kHz（アンプによって異なります）

仕様

MLA HT

MLAサンプルホルダーの高温バージョンには、加熱チャンバーが内蔵されています。
これにより、室温から最高200℃までの温度範囲で測定を行うことができます。
特別バージョンでは、最高300℃までの温度範囲で測定が可能です。
圧縮スプリングの圧縮によって発生するプリロード力は、デジタルディスプレイでいつでも正確に調整できます。

特徴

• サンプル上の正確な電圧と電流測定のための4点接触
• 市販のレーザー干渉計による信頼性と精度の高いひずみ測定
• サンプル表面の研磨は不要
• サンプル近くでの温度測定
• 均一加熱のための密閉加熱室
• 断熱住宅

仕様

MLA Kryo

MLA HTサンプルホルダーと比較して、多層アクチュエータの測定温度範囲が氷点下まで拡張されました。
この機能は、特に自動車用途において有用です。

40℃までの温度範囲をカバーする循環冷却システム搭載バージョンと、液体窒素を冷却媒体として使用するバージョンからお選びいただけます。
液体窒素を冷却媒体として使用するバージョンでは、-100℃という低温でも多層アクチュエータの特性評価が可能です。

特徴

• サンプル上の正確な電圧と電流測定のための4点接触
• 市販のレーザー干渉計による信頼性と精度の高いひずみ測定
• サンプル表面の研磨は不要
• サンプル近くでの温度測定
• 密閉式加熱・冷却室
• 断熱住宅

仕様

動的力生成：CMA

測定中にプリロードを動的に変更したい場合は、CMAサンプルホルダーとaixCMA基本システムを組み合わせた最適なソリューションをご提供します。
サンプルの形状に関わらず、aixACCT Systemsは最適なサンプルホルダーをご提供します。

nanoCMA

機械的なプリロードがかかったMEMS構造の実際のたわみを推定したいとお考えですか？nanoCMAはまさにこの目的のために開発されました。
スタンドアロン版として、またはDBLIの拡張機能としてご利用いただけます。
サンプルとの設定可能な接触点を用いてシリコン構造のたわみをレーザー干渉計で測定することで、µN単位の精度を実現します。

CMAの力制御システムと組み合わせることで、試験構造に定義された力を加え、それを動的に制御することができます。
これにより、実際のコンポーネントの剛性とその結果生じる力をシミュレートできます。
例えば、アクチュエータの力-変位特性を記録し、それを用いて剛性、最大たわみ、およびロック力を決定できます。

より多くの可能性のために巧みに組み合わせる

当社のモジュラーシステムのもう一つの利点は、RSモジュールと組み合わせてMEMSスイッチの接触抵抗試験を実施できることです。
さらに注目すべき点は、力を加えるために使用されるシリコンカンチレバーに適切な接触材料をコーティングできることです。
これにより、スイッチに複雑な加工を施すことなく、考えられる接触材料の組み合わせを調査できます。

特徴

• 静的および動的機械力制御
• µN範囲での力測定
• シリコンカンチレバーを用いた微細構造の接触
• MEMS構造のブロッキング力と剛性の決定
• 4点接触による接触抵抗試験

仕様

サンプルサイズ	最大8インチ
力測定範囲	1mN
解決	1µN
連絡先	20µm
電圧範囲	400V

µCMA

当社のµCMAは、極小の多層アクチュエータ、繊維、繊維複合材、あるいは小型曲げアクチュエータなどの薄いバルク材料の測定を可能にします。
分極、大信号ひずみ、C(V)、d33といった大信号特性と小信号特性の精密測定に加え、アクチュエータのブロッキング力と剛性も測定可能です。
この測定のために、µCMAには高精度マイクロマニピュレーションステージと顕微鏡、そして変位センサーと力センサーが搭載されています。

オプションの加熱システムもあり、室温から 200 °C までの範囲で測定を行うことができます。

特徴

• mN範囲の力測定
• 静的および動的機械力制御
• レーザー干渉計による信頼性と精度の高いひずみ測定
• サンプルとトップコンタクトの位置決めおよび傾斜システム
• 平面平行度を調整するための特殊な光学的方法
• 温度依存測定

仕様

温度範囲	RT->200°C（その他の温度範囲はリクエストに応じて）
サンプル直径	標準として少なくとも0.1mm（マイクロアクチュエータまたはファイバーの場合）
サンプルテーブル	50mm×100mm
力測定範囲	最大2N
解決	+/-5mN
測定頻度	規定のプリロードでサンプルをクランプした場合は10Hz、サンプル表面にプリロードをかけない場合は最大100kHz
サンプル電圧	最大300V（HVはオプション）

CMA

全長100mmまでのアクチュエータを測定したいとお考えですか？広い移動範囲と測定チャンバーを備えた当社の標準CMAシステムは、最適なソリューションを提供します。
最高の力範囲を提供します。サンプルによっては、数kNの動的な力を加えることができます。
静的荷重容量は30kNです。ここで大きな動的な力が発生するため、アクチュエータの長さの変化は、デュアルビームレーザーシステムを用いて差動的に測定する必要があります。

サンプルサイズによって変動

多層、単結晶系、あるいはバルク材料を電気的および機械的に接触させることができます。
これにより、最大10kVの励起電圧で上下接触するバルク材料の特性評価が可能になります。
標準の加熱チャンバーの温度範囲は室温から200℃ですが、-40℃から200℃まで拡張可能です。
温度は、アクチュエータ表面に設置されたスプリング式熱電対によって測定されます。

特徴

• 制御された静的および動的機械的力負荷下での測定
• 側面または端面を介して接触する
• 市販のデュアルビームレーザー干渉計による信頼性と精度の高いひずみ測定
• サンプルの温度測定
• サンプル表面の研磨は不要
• 電気分極および歪み測定（単極および双極）
• 単極性および双極性バイアス電圧による小信号容量、損失係数、圧電係数の測定
• 阻止力、剛性、電荷、変位、分極の測定と力
• 漏れ電流測定
• 疲労測定（機械的および電気的励起）
• 温度依存測定

仕様

静的プリロード	最大30kN
ダイナミック発電	最大6kN
温度範囲	RT->200°Cまたは-40～200°C（冷却オプション付き） その他の温度範囲はリクエストに応じて
温度分解能	0.1℃
サンプルの厚さ	側面接触5～100mm、上面/底面0.1～100mm
サンプル直径	2～25mm