先端電子機器
aixDBLI
aixDBLI
当社の aixDBLI 測定システムの研究ラインは、圧電薄膜の特性評価に優れた柔軟性とモジュール性を提供します。
研究開発における幅広い測定オプション
DBLI測定システムのリサーチラインは、個々のパッドにおける大信号分極・変位測定から、ウェーハ全体の疲労測定まで、様々な測定タイプに対応します。
PESシステムをベースとしたリサーチラインシステムは、このシリーズのすべてのサンプルホルダーと測定システムを組み合わせて、いつでも拡張可能です。
そのため、お客様の圧電材料のニーズにぴったり合った測定システムを実現できます。
柔軟で拡張可能
aixDBLIリサーチラインのシステムは、最大8インチのウェハの半自動測定を可能にします。
測定精度と再現性は1%シグマ未満です。
高い柔軟性と拡張性を備えたリサーチラインシステムは、大学や研究機関、そして民間企業の初期開発に最適です。
より複雑なインダストリアルラインシステムに代わる、費用対効果の高い選択肢となります。
リサーチラインのシステムは、手動式または電動式からお選びいただけます。
モジュール設計により、必要に応じて手動システムを自動化することも可能です。
ユーザーフレンドリーな精度
X、Y位置決めテーブルを備えた当社の手動システムは、驚くほど使いやすくなっています。
顕微鏡の電動高精度搬送システムを搭載した自動システムは、極めて正確な位置決めを実現します。
8インチモデルは、この点においてインダストリアルラインの上位機種と同等の性能を備えています。