先端電子機器
TFアナライザー
TFアナライザー
TF Analyzer プラットフォームは、圧電材料の特性評価に使用される、aixACCT Systems の柔軟なモジュール式測定ツールの中核です。
すべてのaixACCT測定システムの心臓部
1999年、最初のTFアナライザーが300nmパッド上での測定を可能にしました。
これにより、 aixACCT Systemsが開発した補正手法により、初めてストレージ構造の正確な測定が可能になりました。
この補正手法により、電源ケーブルなどの寄生容量によって発生する電流と、材料の実際のスイッチング電流を区別することが可能になりました。
FeRAMメーカーにとってのメリット
この新しい測定方法により、メモリ用途における強誘電体膜のスイッチングを初めて正確に測定することが可能になりました。
これはFeRAMメーカーにとって大きなメリットです。
aixACCTにとって、これは決定的な成功であり、その後もフェロピエゾ（バルク薄膜多層膜）への注力を継続することができました。
aixplorer 3.0 – 通信と制御
aixplorer 3.0ソフトウェアは、すべてのTFアナライザーの主要部分です。
他のデバイスとの通信を維持し、複雑な測定システムを制御する一方で、アナライザー自体は制御およびデータ収集システムとして機能します。