先端電子機器

エミッション顕微鏡
(FA Instruments)

テスターやウェハプローバーの上で使用できる廉価版エミッションマイクロスコープです。

米国FA Instruments社製エミッションマイクロスコープ

概要

FA Instruments　社製　Crystall visionはディテクタに冷却CCDを採用したエミッションマイクロスコープです。冷却方式は空冷でコンパクトに設計されており、テスタ、プローバ等に簡単に接続できます。
表面、裏面からの観察も可能、容易に持ち運びできるシステムとなっております。

特徴

• 空冷方式の冷却CCDカメラなので設置場所を選びません
• 高感度CCD採用、赤外域での波長も取り込めます
• ヒストグラムと映像を数値化できます
• プローブステーション用ソフトウェアにビデオ信号出力可能
• 顕微鏡ステージモーター動作可能（オプション）
• レーザー光源を用いて、ライブイメージでの裏面観察が可能
• 外部からのノイズを低減させるフィルター機能搭載
• レーザー光源の出力調整可能
• 低価格

テスタ、マニュアル、フルオートプローバに簡単に接続できます

レーザー光源を用いた裏面からの画像