先端電子機器

プロービングシステム (SIGNATONE PROBING DIVISION)

マニュアルからセミオート機能を搭載したモデルを用意し半導体ICの微細なパターンに直接プロービング可能なシステムです。ユーザーの仕様に応じたシステムを構築できます。また、薄膜等の、抵抗率、膜厚分布を測定アプリケーションのためにシート抵抗測定システムも用意しております。

checkmateシリーズ

概要

• 多機能プロービング
• 200～300mmステージ
• PCによる外部遠隔操作
• 100nmプロービング分解能

S-460セミオートマティックブロービングシステム

概要

• ステッピング＆リピート機能
• マッピング機能

マニュアル解析用ブロービングシステム

概要

• 100mm, 150mm , 200mm
• ウェハステージフルマニュアル構成

H-100シリーズハイブリッドブロービングシステム

概要

• 低価格 85mm and 100mm ウェハ用

4端子抵抗率測定システム

概要

マニュアル から3D マッピングまで4端子プロービングにて抵抗率測定

RFブロービングシステム

概要

10 GHz ～ 220 GHz RF プロービングヘッド

TH760テストヘッド ダイレクトブロービングシステム

概要

テストヘッドにダイレクトにプロービングし高速テストノイズフリーテストを実現します